深圳市石金科技股份有限公司 欢迎您!
石金科技
石墨制品定制咨询: 136-6268-7390 0755-27565656
全站搜索结果:产品:9个,新闻:6个
  • 将新石墨舟及使用超过3 年的旧石墨舟饱和后进行PECVD镀膜,片间均匀性差异如图7 所示。由图7 可知,新石墨舟​表面平整度好,石墨舟片导电性一致,薄膜分子可以均匀地沉积在硅片表面,片间均匀性更优。图8 为新石墨舟在使用周期内的片间均匀性变化趋势图。
    发布时间:2020-08-09 浏览次数:24
  • 石墨舟清洗 石墨舟烘干 石墨舟预处理(饱和) 石墨舟的维护
    发布时间:2020-07-16 浏览次数:222
  • 管式镀膜在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,增强光的吸收与钝化作用,镀膜故障部分存在解决时间比较长,分析困难的情况,本文将介绍管式镀膜舟污染异常情况,期待与您共同进步。
    发布时间:2020-06-29 浏览次数:211
  • 主要区别在于肉眼无法观察的一些细小氮化硅颗粒物的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留区域与非氮化硅残留区域微观形貌及粗糙度
    发布时间:2019-11-14 浏览次数:647
  • 石墨舟污染原因和改善方法 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面,造成小白点 特气管道残遇硅烷(浓度很低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:3916
  •   根据以上分析炉管粉尘污染大致分为如下几类:   1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒;   2.石墨舟舟片上​可去掉,或不可去掉小白点;   3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(称为气流异常);   4.石墨舟舟片上雪花状漂浮物;
    发布时间:2019-11-12 浏览次数:543
石金科技

联系部门:万小姐

联系电话:136-6268-7390

传真号码:0755-81737007

QQ号码:189773627

电子邮箱:sjds@goldstonelee.net

公司地址:深圳市宝安区松岗街道塘下涌同富裕工业区安润路2号

石金科技
  • 石金科技 石金石墨
  • 石金科技 扫描二维码
备案号: 粤ICP备14060263号-3    版权所有:深圳市石金科技股份有限公司    技术支持:京马网 傲马系统