石墨舟污染原因和改善方法 --深圳市石金科技股份有限公司

发布时间：2019-11-12 点击次数：10973

污染类型	易污染对象	污染原因	备注
膜后不可去小白点	镀膜前wafer	少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面，造成小白点。	产生不良片
膜后不可去小白点	镀膜前wafer	氮气不清洁（没装氮气过滤器），吹出白色微小颗粒。膜前附着到wafer上	产生不良片
膜后可去掉小白点	膜后wafer	氮气不清洁，吹出白色颗粒（可吹掉），膜后附着到wafer上。	可吹掉，产生一定量不良片
膜后可去掉小白点	膜后wafer	膜后微颗粒附着到wafer上（可吹掉），	可吹掉，产生量少不良片
白色，灰白色雾状附着物	气流片（wafer）石墨舟	特气管道残遇硅烷（浓度很低），随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。	污染石墨舟（一般为白色，或者灰白色），产生大量不良片。
土灰色雪花状漂浮物	石墨舟，wafer 炉管	硅烷羊角阀,流量计有漏（浓度较低），直接在炉门口燃烧，产生白色，灰色粉尘。	污染石墨舟，炉管，产生大量不良片。

污染类型	解决措施	预防措施
膜后不可去小白点	清理特气孔，吹扫特气管道	制作吹扫工艺，定期进行吹扫工艺；洁净，炉管及进出舟环境。
膜后不可去小白点	吹扫氮气管道，跟换，安装氮气滤芯。	购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯
膜后可去掉小白点	吹扫氮气管道，清理，跟换，安装氮气滤芯。	购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯
膜后可去掉小白点	清理特气孔，吹扫特气管道。	协助工艺去部掉出炉管15slm N2。洁净，进出舟环境。
白色，黄色雾状附着物，气流片，白舟	发现有异常，及时停止制程，立即测试硅烷羊角阀，流量计，发现有漏。及时跟换羊角阀流量计。	发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。购买羊角阀，3slm流量计备品，备件，减少石墨舟的污染
雪花状漂浮物	发现有异常，及时停止制程，立即排查，流量计，羊角阀。如果硅烷羊角阀窜气，更换硅烷羊角阀	发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。购买羊角阀备件，减少石墨舟的污染。