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高效PERC单晶硅太阳电池局部背表面场的工艺

发布时间:2020-11-20 点击次数:39

目前,钝化发射极和背面电池(PassivatedEmitter and Rear Cell,PERC) 技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC 技术是通过在硅片的背面增加一层钝化层( 氧化铝或氧化硅),对硅片起到钝化的作用,可有效提升少子寿命。为了防止钝化层被破坏,影响钝化效果,还会在钝化层外面再镀一层氮化硅层。PERC 技术中引入的背面钝化可将电池背表面载流子的复合速率降至 50 cm/s 以下,表面悬挂键降至1011 eV•cm2 以下,因而可改善电池背面复合,提升电池的少子寿命。此外,PERC 单晶硅太阳电池的背面叠层钝化膜起到了背反射器的作用,可将更多的长波长的光反射回电池,从而提升电池的长波响应。但是由于PERC 单晶硅太阳电池的背钝化层为绝缘层,无法与铝背场形成电极通路,因而,需要通过激光在硅片背面开槽,形成PERC 单晶硅太阳电池的局部背表面场.

PERC 石墨舟载具

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