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为什么生产集成电路必须使用单晶硅?

发布时间:2020-09-15 点击次数:288

这是因为器件的许多电学和机械性质都与它的原子级结构有关。这就要求原子具有重复性结构,从而使得芯片与芯片之间的性能具有重复性。

在某些情况下,需要硅片有非常纯的、与半导体衬底有相同晶体结构的硅表面,还要保持对掺杂类型和浓度的控制。这要通过在硅片表面淀积一层外延层来实现


半导体外延定义:外延(epitaxy)是在单晶衬底上生长一层单晶膜的技术。新生单晶层按衬底晶向延伸生长, 并称此为外延层。长了外延层的衬底称为外延片

半导体用石墨盘

半导体外延特点:

晶体结构良好

掺入的杂质浓度易控制

可形成接近突变p—n结


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